椭圆偏振光谱

HORIBA科学仪器事业部推出了新一代研究级光谱型椭圆偏振光谱仪，它具有最高的精确度、重复性、灵敏度，且具备独一无二的功能特性，是用于表征纳米和微米膜层的有力工具。UVISEL 2具有完备的全自动特性，操作简单、快速，可广泛应用于各类现有及新兴领域。

UVISEL 2配备了样品可视系统（专利技术），可用于观察任何样品表面。结合8种尺寸的微光斑，使得光斑可以精确定位于样品上各种限定尺寸的待测区域。UVISEL 2集成了世界上最小的无色差微光斑专利技术，光斑尺寸最小可达到35μm，实现微区测量时仍能覆盖很大的光谱范围。

专业的DeltaPsi2软件平台，操作简单直观，为薄膜精确分析提供各种优化的测量、建模功能。

UVISEL 2是一款性能优于其它所有机型的最新型椭圆偏振光谱仪。它继承了经典UVISEL椭圆偏振光谱仪已被证明的最高精度、最高灵敏度性能，而且经过重新设计，性能大幅提升。

椭圆偏振光谱仪

独一无二的技术，具备先进的薄膜表征能力，能提供最高灵敏度和精度的测量。

原位和在线椭偏仪

薄膜沉积与刻蚀过程的高精度、高速度监测和控制。

薄膜的质量控制

新技术：薄膜厚度和光学常数的一键式测量!

大面积测量系统

专为显示装置产业设计的系统，能处理第七代显示衬底。