直流等离子体等离子电源

脉冲直流等离子电源

RPDG ( 等离子脉冲直流电源) 可为反应物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）中的偏置或增强型薄膜涂层的应用提供不对称双向和单向脉冲。RPG 系列产品消除了会影响良品率的因素，可以使现有的PVD 设备能制备更高质量、更低缺陷的薄膜，以满足下一代工艺的需求。

Optima®

EPG快速灭弧直流DC等离子电源

EPG-300E/400E

当今先进溅射工艺要求高速、可控、高精度、高可靠性及优良的电弧控制。Optima 是MKS新一代高新能直流等离子体电源供物理气相沉积（PVD）工艺。EPG 系列快速灭弧直流电源采用紧凑和可扩展性的设计,额定功率输出可选择30KW或40KW,其冷却方式为风冷.