电容式薄膜压力传感器

一个完整的传感器–压力传感器+ 信号控制电路

l  绝对压力薄膜规是测量相对于超高真空的绝对压力或真空.

l  传感器是由Inconel® 镍合金焊接而成，机构包括薄膜、电极、传感器壳体及获得泵

l  参考端视抽到超高真空UHV 并密封

l  获得泵(化学吸收氢气的材料) 将除去参考端吸附气体

l  电极接收到一个来自薄膜和电极间因间距变化而产生的电容量变化的很低的信号

l  测量端的压力越高，其薄膜越趋向电极，电容量也越大

l  电容量的变化是取决于电桥电路的不平衡，再转化为线性的模拟或数字信号输出