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CTI-Cryogenics On-Board 水泵系统

到达本地真空的时间减少50%到70%通过减少蒸汽存在和低污染来提高产出全抽速之大10-11、Torr,水蒸气分压力可达10-13Torr通过温度控制来选择抽除水蒸气,无需隔离阀安装运行成本低,可以远程放置压缩机,无需冷媒管线清洁和可靠与其他On-Board泵兼容

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到达本地真空的时间减少50%到70%

通过减少蒸汽存在和低污染来提高产出

全抽速之大10-11Torr,水蒸气分压力可达10-13Torr

通过温度控制来选择抽除水蒸气,无需隔离阀

安装运行成本低,可以远程放置压缩机,无需冷媒管线

清洁和可靠

与其他On-Board泵兼容


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