CTI-Cryogenics On-Board 水泵系统
到达本地真空的时间减少50%到70%通过减少蒸汽存在和低污染来提高产出全抽速之大10-11、Torr,水蒸气分压力可达10-13Torr通过温度控制来选择抽除水蒸气,无需隔离阀安装运行成本低,可以远程放置压缩机,无需冷媒管线清洁和可靠与其他On-Board泵兼容
到达本地真空的时间减少50%到70%
通过减少蒸汽存在和低污染来提高产出
全抽速之大10-11、Torr,水蒸气分压力可达10-13Torr
通过温度控制来选择抽除水蒸气,无需隔离阀
安装运行成本低,可以远程放置压缩机,无需冷媒管线
清洁和可靠
与其他On-Board泵兼容